本发明提供了一种雾化硅油回收装置及配件内壁硅化装置.该雾化硅油回收装置设置在硅油盒组件的上方，小微精密零件加工，雾化硅油回收装置包括:围壁，小微精密零件加工收费情况，围壁围设在硅油盒组件的上方;回收口，回收口设置在围壁上并通过回收管与硅油容器连接.本发明通过在盒状体的围壁上设置回收口，可有效收集从配件的端雾化喷出的硅油，避免硅油向外洒出，提高了整体整洁度及避免硅油浪费.
一种低模量钛合金三维金属零件的制备方法，其特征在于：该方法包括如下步骤：(1)以低模量钛合金粉末为原材料，采用电子束熔融金属成型技术制备所需结构的低模量钛合金三维金属零件；(2)热等静压处理：将步骤(1)制备的钛合金三维金属零件在900～1200℃进行热等静压处理；(3)热处理：将经步骤(2)处理后的钛合金三维金属零件依次进行β相区固溶处理和两相区时效处理，或者仅进行β相区固溶处理，终获得所述低模量钛合金三维金属零件。
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