三次元测量仪，主要是指通过三维取点来进行测量的一种仪器，市场上也有叫三坐标，三坐标测量机，三维坐标测量仪，三次元的。
主要原理是：将被测物体置于三次元测量空间，可获得被测物体上各测点的坐标位置，根据这些点的空间坐标值，经计算求出被测物体的几何尺寸，形状和位置。
基本原理就是通过探测传感器（探头）与测量空间轴线运动的配合，对被测几何元素进行离散的空间点位置的获取，然后通过一定的数学计算，完成对所测得点（点群）的分析拟合，还原出被测的几何元素，并在此基础上计算其与理论值（名义值）之间的偏差，从而完成对被测零件的检验工作。
三次元测量仪的组成：
1，主机机械系统（X、Y、Z三轴或其它）；
2，测头系统；
3，电气控制硬件系统；
4，数据处理软件系统（测量软件）；
一般区分为滚珠线性滑轨及气浮滑轨两种，滚珠线性滑轨的干涉及变形较大，比较少使用在大型机台；现今的主流为气浮滑轨，其原理为压缩空气在空气轴承与轨道间形成一个几微米( um ) 低摩擦力及低阻力的空气层，也就是说空气轴承会浮在轨道上，这时便可轻易移动。
测量各种工件尺寸、角度、形状和位置，以及螺纹制件的各种参数，适用于机器制造业，精密工、模具制造业、仪器仪表制造业、电子行业、塑料与橡胶行业的计量室、对机械零件、量具、刀具、夹具、模具、电子元器件、电路板、冲压件、塑料及橡胶制品进行质量检测和比对。
三次元测量仪产品在俄罗斯市场流通使用，需要取得海关联盟EAC清关认证，然后由俄罗斯计量署出具PAC计量认证。
