三氟甲i烷 （CHF3)
包装：采用40L、47L钢瓶充装，也可根据客户需要分装到8L的气瓶中。
用途：用作电子工业等离子体化学蚀刻剂、低温（-100℃）制冷剂及氟有机化合物的原料。
理化性质:是一种无色、微味，不导电的低毒类气体，是理想的卤代烷替代物。高浓度三氟甲i烷具有窒息麻i醉作用，对脑神经有损害。液体接触时可能引起冻i伤。
注意事项：储存于阴凉、通风的不燃气体库房。远离火种、热源。库温不宜超过30℃。应与氧化剂、易（可）燃物分开存放，切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。
各类气瓶管理制度汇总
1.目的：建立一个管理、使用、充装、检查、运输、储存、附件、监督检查管理程序
2.范围：气瓶使用、储存部门
3.责任者：工程部、安全部、仓储科、保卫科、使用部门
4.程序：
气瓶必须指i定专人管理，每次下班前应详细检查气瓶附件是否齐全可靠，放置位置是否符合规定。
气瓶使用中应遵守以下规定：
禁止敲击，碰撞。
瓶阀冻i结时，不得用火烘烤。
气瓶不得靠近热源，可燃、助燃性的气体的气瓶与明火的距离一般不得小于10米。
夏季要防止日光爆晒。
瓶内气体不能用尽，必须留有剩余压力，瓶内低于50kPa时，不得继续使用，并在瓶身上标上用完记号。
开闭气阀时，操作人员应站在气瓶侧面，特种气体厂家，用工具慢慢开启或关闭
开闭氨气、C?H?有毒、有腐蚀性气体瓶时，应按安全规定穿戴劳动保护用品。
气瓶充装与定期检查。
凡不符合下列情况之一者，应事先进行妥善处理，否则严禁充装。
漆色、字样不易识别气瓶种类的；
安全附件不全，损坏或不符合规定的。
（D2)
包装：采用44L钢瓶充装，也可根据客户需要分装到2-8L的气瓶中。
用途：在半导体、平板显示器、太阳能电池等电子行业在硅烧结或退火工艺中置换氢；应用于核子融合反应。
理化性质:D2是普通氢较重的稳定同位素。它是无色、无味、无毒的可燃气体。其沸点为-249.5℃。与分子氢一样，双原子D2分子也存在正、仲同分异构现象。室温下，气体报警装置安装，D2正-仲异构体混合物的平衡组成为2：1，这种D2称为常态D2。降低温度，有利于向正D2转化。在20.4K时，平衡混合物含正D297.8%，此时的D2称为平衡D2。
注意事项：
储存于阴凉、通风的库房。远离火种、热源。库温不超过30℃，相对湿度不超过80％。应与氧化剂、卤素分开存放，切忌混储。采用防爆型照明、通风设施。禁止使用易产生火花的机械设备和工具。储区应备有泄漏应急处理设备。
密闭操作，标准气体供应商，加强通风。操作人员必须经过专门培训，气体，严格遵守操作规程。建议操作人员穿防静电工作服。远离火种、热源，工作场所严禁吸烟。使用防爆型的通风系统和设备。防止气体泄漏到工作场所空气中。避免与氧化剂、卤素接触。在传送过程中，钢瓶和容器必须接地和跨接，防止产生静电。搬运时轻装轻卸，防止钢瓶及附件破损。配备相应品种和数量的消防器材及泄漏应急处理设备。
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