酸碱腐蚀机,显影清洗机,苏州晶淼
更新:2020-04-17 11:18 编号:8246304 发布IP:114.219.144.185 浏览:159次- 发布企业
- 苏州晶淼半导体设备有限公司商铺
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- 湿法清洗设备,硅片,晶圆
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- 苏州工业园区展业路9号
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详细介绍
湿法清洗设备的分类与发展
相较于光刻机、磁控溅射台、探针测试台等设备大部分使用国外进口设备,单晶炉,刻蚀机,清洗机等设备已逐步实现国产化。随着清洗技术的不断发展和进步,硅片清洗设备的研发和创新工作获得了长足的发展,并已经逐步形成了一个趋于完善不断走向专业和细化的行业。其中湿法清洗设备一直占据主导地位。 按照清洗方式的不同,主要的种类包括以下三类 1.槽式湿法清洗。湿法化学清洗系统既可以是槽式的又可以是旋转式的。一般设备主要包括一组湿法化学清洗槽和相应的水槽,还可能配有甩干装置。硅片放在一个清洗专用花篮中放入化学槽一段指定的时间,之后取出放入对应的水槽中冲洗。2.超声波清洗。超声波清洗法的主要目的是去除晶片表面污染物薄膜而不能去除颗粒。在清洗过程中,晶片浸没在清洗液中,利用超高频率的声波能量将晶片正面和背面的颗粒有效去除。 3.旋转喷淋清洗。旋转喷淋清洗是浸入型清洗的变型。喷淋清洗在一个密封的工作腔内一次完成化学清洗、去离子水冲洗、旋转甩干等过程,减少了在每一步清洗过程中由于人为操作因素造成的影响。
订制酸碱洗设备请联系:苏州晶淼半导体设备有限公司 张静文
法定代表人 | 王海龙 | ||
注册资本 | 100万元人民币 | ||
主营产品 | RCA清洗机,金属腐蚀清洗机,二氧化硅腐蚀机,多晶腐蚀清洗机,铝腐蚀机,去胶清洗机,酸/碱腐蚀机,无机腐蚀机,有机清洗机,显影清洗机,石英管清洗机,高温腐蚀清洗机,单片清洗机 | ||
经营范围 | 研发、销售:半导体、集成电路设备、清洗设备、真空设备、太阳能光伏设备、电子配件、五金配件、机械配件,并从事上述产品及技术的进出口业务。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动) | ||
公司简介 | 苏州晶淼半导体设备有限公司位于苏州工业园区,致力于半导体集成电路、光电子器件、分立器件、传感器和光通信、LED等行业,中高端湿法腐蚀、清洗设备、CDS集中供液系统、通风柜/厨等一站式的解决方案的高新技术企业。公司与中科院纳米所、硅酸盐研究所、上海微系统所等多个国家级重点实验室,在半导体湿法设备研发生产方面建立了深度合作关系。核心技术人员,在欧美半导体湿制程设备领域拥有多年从业经验。生产、检测拥有先 ... |