超精密零件加工切削主要有超精密车削、镜面磨削和研磨等。在超精密车床上用通过精细研磨的单晶金刚石车刀举行微量车削，切削厚度仅1微米左右，常用于加工有色金属材料的球面、非球面和平面的反射镜等高的精度、外表高度光洁的零件。例如超精密零件加工核聚变装置用的直径为800毫米的非球面反射镜，精度可达0.1微米，外表粗糙度为Rz0.05微米。
零件加工精度因素分析的必要性：在机械加工过程中，每一个产品都是由若干零件装配而成的，因而零件的加工质量是整台机器的基础，它直接影响机器的性能和寿命。有很多因影响零件后面的加工质量，如何使工件加工达到质量要求，如何减少各种因素对加工精度的影响，提高工件的加工质量，就成为必须考虑的事情，零部件加工，也就是要对影响机械加工精度的因素进行分析。
零件的机械加工工艺过程：
1．工序
工序是指一个或一组工人，在一个工作地对同一个或同时对几个工件所连续完成的那一部分工艺过程。维系一个工序的四个要素是工作地、工人、工件和连续作业，其中任一个要素的变化即构成新的工序。
2．安装
完成一个工序的工序内容，有时需要多次装夹工件，工件（或装配单元）经一次装夹后所完成的那一部分工序内容称为安装。
3．工位
在带有转位（或移位）夹具（或工作台）的机床上进行加工时，在一次装夹中，工件（或刀具）相对机床要经过几个位置依次进行加工，此时，机械零部件加工，为完成一定的工序部分，一次装夹工件后，CNC加工治具，工件（或装配单元）与夹具或设备的可动部分一起相对刀具或设备的固定部分所占据的每一个位置，称为工位。
4．工步
工步是划分工序的单元，机械加工，在一个工序中，工步是在加工表面（或装配时的连接表面）和加工（或装配）工具不变的情况下，所连续完成的那一部分工序。加工表面和加工工具两个要素中有一个发生变化就是另一个工步。对于在一次安装中连续加工的若干相同工步，可写成一个工步。
5．走刀
在一个工步内，如果要切除的金属层很厚，需要对同一表面进行几次切削，这时刀具以加工时的进给速度相对工件所完成的一次进给运动的工步部分，称作走刀。