1、进样系统 进样系统是icp仪器中极为重要的部分，也是icp光谱分析研究中活跃的领域，按试样状态不同可以分别用液体、气体或固体直接进样。
2、电感耦合等离子体光源（icp） 3、光谱仪的分光（色散）系统
复合光经色散元素分光后，得到一条按波长顺序排列的光谱，能将复合光束分解为单色光，并进行观测记录的设备称为光谱仪。 4、检测器--光电转换器件
光电转换器件是光电光谱仪接收系统的核心部分，主要是利用光电效应将不同波长的辐射能转化成光电流的信号。
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