自动型CNC：
Microvu/Micro-vu影像仪Vertex系列
型号 Vertex251HC/Vertex251UC Vertex 311HC/Vertex 311UC
XY *度 Uxy=（2.0+L/250）μm Uxy=(2.5+L/250)μm
Z *度 Ux=（2.5+L/150）μm Ux=（3.0+L/150）μm
XY 重现性 2.0μm 2.5μm
Z 重现性 2.0μm 2.0μm
XY 加速度 500mm/S2
Z 加速度 200mm/S2
XY 移动速度 250mm/s
Z 移动速度 100mm/s
光学尺分辨率 1.0μm, 0.5μm, 0.1μm
量测行程 250160160mm 315x315x150mm
外形尺寸 808x606x1033mm 1090865x990mm
重量 98kg 125kg
承载重量 10kg 12kg
基座材质 铝合金(花岗岩选购l)
传动方式 Unique Monorail X & Y Design, Monorail Linear Z
电控系统 伺服系统: CNC, 鼠标, 摇杆
光学系统 &放大倍率 12:1 光学 Zoom, 17-410 或 6.5:1光学 Zoom,20-250
影像 & 光源 红光LED (黑白系统)或白光 LED(彩色系统)
软件 InSpec for Windows Metrology Software
工作环境 20℃±2°,30-80% 湿度
