EdwardsSTPA2203C是一款为半导体应用而设计的新型涡轮分子泵,它采用先进的转子技术,成就了其在绝大多数工艺流程中的性能。全新的半机架型控制器能够节省更多空间,集成直流驱动技术,无需电池即可运行。STPA2203C已为业内所认可,广泛应用于半导体和磁介质行业的刻蚀、离子注入和沉积设备研发与制造。
性能特点
领先的转子技术
高通气量
适合于绝大多数工艺流程
5轴磁悬浮技术
零污染
应用领域
金属(如铝)、钨、绝缘体(氧化物) 以及多晶硅的等离子刻蚀 (氯化物、氟化物和澳化物)·电子回旋共振(ECR) 刻蚀
CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD镀膜
溅射
离子注入源、射线束泵送端点站
Edwards爱德华EdwardsSTP-A2203C3分子泵控制器维修
Edwards爱德华EdwardsSTP-A2203C3分子泵维修保养