超纯水又称UP水，是指电阻率达到18MΩ*cm(25℃)的水。这种水中除了水分子外，几乎没有什么杂质，更没有细菌、病毒、含氯二噁英等有机物，当然也没有人体所需的矿物质微量元素，也就是几乎去除氧和氢以外所有原子的水。可以用于超纯材料(半导体原件材料、纳米精细陶瓷材料等)应用蒸馏、去离子化、反渗透技术或其它适当的超临界精细技术的制备过程。
超纯水检测范围
电子级超纯水，工业超纯水，医用超纯水等。
超纯水检测项目
微粒子检测，电阻率检测，微生物检测，水质检测，标准离子含量，余氯检测，二氧化硅检测，微量元素检测，吸光度检测，细菌总数检测，硬度检测。
超纯水检测标准
1ASTM 4453-2011超纯水试样处理规程
2ASTM 5127-2007电子和半导体工业用超纯水的指南
3ASTM 7980-2015对半导体工业中超纯水瞬时样品阴离子进行离子色谱分析的指南
4JIS K0550-1994超纯水中细菌数的试验方法
5JIS K0551-1994超纯水中总有机炭(TOC)的试验方法
6JIS K0552-1994超纯水中电导率的试验方法
7JIS K0553-2002超纯水中金属元素的试验方法
8JIS K0554-1995超纯水中微粒子测定方法
9JIS K0555-1995超纯水中二氧化硅的试验方法
10JIS K0556-1995超纯水中阴离子的试验方法