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电阻式传感器是把被测量,如偏移、弯曲、力、瞬时速度、环境湿度、温度等这种参量变换式成阻值这样的一种元器件。主要包括电阻器应变力式、压阻式、热电偶、热敏电阻、气敏、湿敏等电阻式传感器件。
电阻器应变力式
感应器里的应变片具备金属应变力效用,则在外力的作用下发生设备弯曲,从而使得阻值随着产生对应的转变。应变片主要包括金属和半导体材料两大类,金属材料电阻应变片有铁丝式、箔式、塑料薄膜式差别。半导体材料电阻应变片具备反应速度快(一般是丝式、箔式的几十倍)、横着效用较小优势。
压阻式
压阻式传感器是依据半导体器件的压阻效应在半导体的硅片上经蔓延电阻器而制成的元器件。其硅片可以直接做为**测量传感器元器件,蔓延电阻器在硅片内接成电桥电路方式。当硅片遭受外力的作用而出现弯曲时,各阻值将发生改变,电桥电路会产生相对应的不稳定导出。
作为压阻式传感器硅片(或称阀片)原材料大多为单晶硅片和锗片,单晶硅片为敏感材料而制成的硅压阻感应器愈来愈被人们所高度重视,尤其以**测量压力速度固体压阻式传感器应用更为广泛。