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HTCC静电卡盘丝网印刷机MTP-1100TVC日本Micro-tec
日本Micro-tec HTCC静电卡盘丝网印刷机MTP-1100TVC应用领域:LTCC探针卡、HTCC静电吸盘、MLCC(蓄电器)、薄膜器件、低耐热性基材、燃料电池、太阳能电池(结晶类)太阳能电池(色素增感)、触控面板(线路印刷)、触控面板(BM印刷)、半导体、模组电源、LED、FPC、COF、玻璃(平面・曲面)、固态电池、标徽、医疗领域、汽车电子等
日本Micro-tec HTCC静电卡盘丝网印刷机MTP-1100TVC为大型多目的用途丝网印刷机。通过使用推抬式台面驱动(同MT-650系列一样),实现了在设备大型的情况下,作动仍然顺畅无阻。
静电卡盘(Electrostatic Chuck,简称E-Chuck),其原理是利用静电吸附原理将待加工晶圆吸附在其表面,使晶圆保持较好的平坦度,可以抑制晶圆在工艺中的变形,并且可以通过背吹气体来控制晶圆表面温度。
而静电卡盘的关键与难点则在于温度控制。
半导体设备的种类大致分为机械类、电气类、机电一体类等大类,但由于半导体设备精密度高、结构复杂,需要的零部件种类及数量极其庞大,在每一个大类中也有较多的细分品类,导致市场高度碎片化。
美国的静电卡盘制造商包括Applied Materials与LamResearch等,日本的静电卡盘制造商包括Shinko、TOTO、NTK、CreativeTechnology Corporation等。
据QYResearch数据,Applied Materials、LamResearch与Shinko三家公司,占据了2021年全球静电卡盘市场销售额前三位,占比分别为43.86%、31.42%、10.20%,合计占比85.48%。