顶旭苏州微控技术 绍兴SU8模具加工设备

数显测厚规（千分款）

测量匀胶厚度

量程:0~10mm

精度：0.001mm

公差：≤±0.005mm

显微镜

观察头：铰链式三目观察头，30°倾斜，瞳距48～75mm

目镜：超大视野目镜 10X/22

无xian远平场消色差物镜：4X/0.1，10X/0.25，20X/0.4，40X/0.65

转化器：四孔转换器

载物台：载物台面积300×268mm，移动范围250×250mm

焦距调节：同轴粗微动调焦机构，行程24mm

照明系统 ：6V20W卤素灯，亮度可调

滤色镜 蓝色、黄色、绿色、磨砂玻璃片

SU8模具加工平台旨在为SU8模具加工提供一个gao效、全mian的解决方案，该平台集成了桌面光刻机、匀胶机和热板等he心设备。桌面光刻机，体积小巧，采用LED光源，曝光分辨率可达2um，曝光均匀性大于90%，可实现微纳结构的精细制备；匀胶机，转速稳定性为±0.5%，转速达10000转，SU8模具加工设备，可确保光刻胶均匀涂敷，提高一致性；热板，温度稳定性±1%，可为SU8模具提供充分的烘烤，从而提升SU8模具结构的耐久性和机械性能。相比传统加工平台，设备体积庞大，环境要求严苛，SU8模具加工平台适应性强，光刻机占地面积小，普通实验室也可轻松部署。SU8模具加工平台，有利于客户快速实现芯片制备，为微流控技术的推广和应用提供便捷途径。

3. SU8模具制备流程

一、备片

从化学品存放区取出清洁的硅片（确保硅片表面无尘）。

匀胶

1）打开匀胶机，将硅片放置在匀胶机托盘上，打开真空开关，确保硅片固定在托盘上不动；

将SU8光刻胶滴在硅片中间，根据光刻胶的厚度和制备要求设置匀胶机转速和时间。（举例说明：目标胶厚度50um，光刻胶型号：SU8-2075，1段500转8s，2段1800转30s）

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