初项0.28μm的高精度CNC三坐标测量机
LEGEX系列
LEGEX系列为初项0.28μm的高精度CNC坐标测量机,对所有可能产生误差的因素进行严格分析并排除或大程度地降低其影响
本体底座部分严选材料,采用密封结构以实现高刚性、高衰减性。采用FEM结构解析模拟进行彻底的应力分析,保证了几何运动精度,使负荷及其变量波动造成的误差降至小。还引入了各种技术来实现超高精度,如驱动单元的结构和振动对策等
用于位置检测的长度测量单元配备了超高精度测量单元(自社开发),具有极高的位置检测能力,实现超高精度的机器控制功能
高精度测量机的设置环境需要恒温室级别,但通过温度修正功能,可以在广泛温度环境下保证精度