大分辨率:0.01µm (SR75:三菱电机(株)),0.05µm (SR74)
精度(20°C时):(3+3L/1,000) µm p-p,(5+5L/1,000) µm p-p[L:测量范围]
测量范围 (L):70 ~ 2,040mm
响应速度:200m/min (SR75),50m/min (SR74:分辨率0.1µm,很小相位差50ns时)
支持的协议(SR75):三菱电机(株),松下电器(株),(株)安川电机
输出信号(SR74):A/B相(脉冲),原点线驱动器信号 符合EIA-422
输出信号(SR75):增量式串口双向信号 符合EIA-485