特殊XPS测试

型号：PHI-5000versaprobeIII、Thermo Scientific ESCALAB 250Xi、ThermoScientific Nexsa等测试项目：

XPS测试注意事项

1. XPS可以做的项目：常规全谱窄谱测试，俄歇谱，价带谱，深度溅射，MAPPING,角分辨

2. XPS测试的元素范围是Li-Cm, H,He元素不能测试

3. XPS数据分析可以等到元素的价态及半定量数据。原子百分含量小于5%的元素可能测不出明显信号。

4. 无特殊说明，默认是使用单色化AlKa源（Mono AlKa）能量是1486.6eV

5. 使用Al KαX-ray会出现的重叠谱峰，当有重叠谱峰的时候直接定量的结果不能参考。下方是常见的一些重叠谱峰的情况，解决方法是a.通过分峰拟合（这个是数据分析的内容）后再重新定量，b.测试其他轨道的峰，需要备注相应的轨道，默认是测试Zui强峰，c.如果是与部分元素的俄歇峰重叠，建议可以更换靶材试试，比如Mg靶。

常见重叠谱峰有Li1s&Co3p；B1s&P2s；C1s&Ru3d5/2,Ru3d3/2；C1s&K2p；O1s&NaKLL；O1s&Pd3p3/2；O1s&Sb3d5/2；N1s&Mo3p3/2；N1s&GaLMM；Al2p&Pt4f5/2；Si2p&Pt5s；Mo3d5/2&S2s；Ta4f&O2s；Co2p&FeLMM；Mn2p&NiLMM；W4f&Zr4p；Al2p&Cu3p。

6.xps测试数据提供原始数据，不做任何矫正，不同材料的矫正方法不同，

样品要求：

块状、薄膜样品：块体/薄膜样品尺寸大于5*5*3mm小于直径60mm*8mm

特殊液体样品（离子液体）可直接进样，大部分液体滴涂基体表面干燥后测试,，同样尺寸大于5*5*3mm

常见问题及回答：结果展示：

250xi 是相对常用的设备，其结果如下：

测试结果给出的是VGD格式和excel格式测试结果。Excel格式文件用origin软件作图；VGD格式文件可以用AVANTAGE分析软件打开。

PHI的格式如下：

测试结果给出的是原始文件SPE格式和excel格式。Excel格式文件用origin软件作图；SPE格式需要软件Multipak或者CasaXPS打开（但定量需要注意灵敏度因子）