万濠纳米白光干涉仪AE-100M

纳米3D显微形貌快速呈现

纳米深度3D形状显微检测仪不需要复杂光路调整程序，即可在非接触、无破坏、

普通大气环境下完成3D纳米深度的表面检测分析，不仅提供3D表面形状和表面纹理的分析，

更可提供镜面表面的纳米级粗糙度和台阶高度分析。

纳米深度3D形状显微检测仪具有极强的测量能力，可在几秒内就完成整个视场的扫描，得到

测量样品的3D圆形与高度数据，检测速度与深度量测能力优于逐点逐面扫描的共焦扫描显微镜，

3D圆形量测能力又优于扫描式电子显微镜的2D平面检测能力，且不需要使用电子束或镭射，关机

快又安全，维护成本更低。

无论是抛光面，还是粗糙面，甚至是高透明材质（例如石英），只要有超过1%以上的反射率

就能够被检测。适合各种材料与微元件表面特征和微尺寸检测。应用领域包含：

1、触控面板(Touch Panel)

2、太阳能板(Solar Cell)

3、晶圆(Silicon Wafer or SapphireWafer)

4、光碟/硬碟(DVD Disk/HardDisk)

5、微机电元件(MEMSComponents)

6、平面液晶显示器(LCD)

7、高密度线路印刷电路板(HDIPCB)

8、IC封装(IC Package)

9、精密微机械元件或模具(Micro MechanicalParts or Mode)

10、以及其它材料分析与元件微表面研究。