纳米3D显微形貌快速呈现
纳米深度3D形状显微检测仪不需要复杂光路调整程序,即可在非接触、无破坏、
普通大气环境下完成3D纳米深度的表面检测分析,不仅提供3D表面形状和表面纹理的分析,
更可提供镜面表面的纳米级粗糙度和台阶高度分析。
纳米深度3D形状显微检测仪具有极强的测量能力,可在几秒内就完成整个视场的扫描,得到
测量样品的3D圆形与高度数据,检测速度与深度量测能力优于逐点逐面扫描的共焦扫描显微镜,
3D圆形量测能力又优于扫描式电子显微镜的2D平面检测能力,且不需要使用电子束或镭射,关机
快又安全,维护成本更低。
无论是抛光面,还是粗糙面,甚至是高透明材质(例如石英),只要有超过1%以上的反射率
就能够被检测。适合各种材料与微元件表面特征和微尺寸检测。应用领域包含:
1、触控面板(Touch Panel)
2、太阳能板(Solar Cell)
3、晶圆(Silicon Wafer or SapphireWafer)
4、光碟/硬碟(DVD Disk/HardDisk)
5、微机电元件(MEMSComponents)
6、平面液晶显示器(LCD)
7、高密度线路印刷电路板(HDIPCB)
8、IC封装(IC Package)
9、精密微机械元件或模具(Micro MechanicalParts or Mode)
10、以及其它材料分析与元件微表面研究。