六氟化硫，化学式为SF6，是一种无色、无臭、无毒、不燃的稳定气体，分子量为146.06，在20℃和0.1 MPa时密度为6.1kg/m3，约为空气密度的5倍，六氟化硫在常温常压下为气态。目前国内使用的气体种类分为工业六氟化硫以及电子工业用气体六氟化硫，主要区别在于纯度及杂质的要求，如下所示：
执行标准：
GB/T 12022-2014《工业六氟化硫》
GB/T18867-2014《电子工业用气体 六氟化硫》
GB/T 12022-2014《工业六氟化硫》
检测指标 | 单位 | 标准限值 |
六氟化硫（SF6）纯度 | 10-2(m/m) | ≥99.9 |
空气（O2+N2）含量 | 10-6(m/m) | ≤300 |
四氟化碳（CF4）含量 | 10-6(m/m) | ≤100 |
六氟乙烷（C2F6）含量 | 10-6(m/m) | ≤200 |
八氟丙烷（C3F8）含量 | 10-6(m/m) | ≤50 |
水分（H2O）含量 | 10-6(m/m) | ≤5 |
酸度（以HF计） | 10-6(m/m) | ≤0.2 |
可水解氟化物 （以HF计）含量 | 10-6(m/m) | ≤1 |
矿物油含量 | 10-6(m/m) | ≤4 |
毒性 | / | 生物无毒试验 |
GB/T18867-2014《电子工业用气体 六氟化硫》
检测指标 | 单位 | 标准限值 |
六氟化硫（SF6）纯度 | 10-2(v/v) | ≥99.999 |
（氧+氩）（O2+Ar）含量 | 10-6(v/v) | ≤2.0 |
氮（N2）含量 | 10-6(v/v) | ≤2.0 |
四氟化碳（CF4）含量 | 10-6(v/v) | ≤1.0 |
一氧化碳（CO）含量 | 10-6(v/v) | ≤0.5 |
二氧化碳（CO2）含量 | 10-6(v/v) | ≤0.5 |
甲烷（CH4）含量 | 10-6(v/v) | ≤0.5 |
水分（H2O）含量 | 10-6(v/v) | ≤3.0 |
酸度（以HF计） | 10-6(v/v) | ≤0.1 |
可水解氟化物 （以HF计）含量 | 10-6(v/v) | ≤8 |
总杂质含量 | 10-6(v/v) | ≤10.0 |
颗粒 | / | 供需双方协商 |
