GB/T 37254-2018高纯碳化硅微量元素检测

GB/T 37254-2018《高纯碳化硅 微量元素的测定》是一项针对高纯度碳化硅材料中微量元素含量测定的国家标准，旨在确保高纯碳化硅产品的质量控制和一致性。以下是该标准的关键内容：

适用范围：本标准适用于碳化硅纯度在99.9%及以上的高纯碳化硅材料，用于测定其中的微量元素含量。

检测方法：

电感耦合等离子体原子发射光谱（ICP-OES）：这是一种非破坏性的分析技术，能够高效、准确地检测样品中的多种金属元素，适用于低浓度元素的定量分析。

电感耦合等离子体质谱（ICP-MS）：比ICP-OES更灵敏，特别适合检测痕量和超痕量元素，能够提供元素的同位素信息，适用于极低浓度微量元素的测定。

检测目的：确保高纯碳化硅在半导体、光伏、高温陶瓷等高科技应用中的性能稳定性和可靠性，微量元素的存在可能影响其电学、热学和机械性能。

标准内容：

规定了样品的准备、处理方法，确保样品均匀且代表性。

明确了分析过程中的校准、空白值和回收率要求，以保证测试结果的准确性。

提供了数据处理和结果报告的指导原则，确保结果的一致性和可比性。