氧分析仪的工作原理主要包括以下几种：
电化学法：电化学式氧分析仪的传感器通过与被测气体反应并产生与气体浓度成比例的电信号来工作。
氧化锆法：氧化锆式氧分析仪是利用稳定的二氧化锆陶瓷在650℃以上的环境中产生的氧离子导电特性而设计的。
顺磁法：顺磁式氧分析仪是基于氧气的顺磁性原理，通过测量氧气在外磁场中被磁化后产生的附加磁场来确定氧气浓度。
激光吸收光谱法：激光氧气分析仪通常使用单一的窄带激光频率扫描一条独立的气体吸收线。为了达到Zui高的选择性，分析一般在低压下进行，此时吸收线不会因压力而变宽。该技术利用可调谐半导体激光器线宽窄、波长随注入电流变化的特性，来测量分子的单个或几个彼此非常接近、难以区分的吸收线。
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