平面度分析误差是机械工程领域中一个重要的考量因素，它指的是被测实际表面相对于其理想平面的变动量。理想平面的位置需符合Zui小条件，这一变动量是衡量工件表面平整度的重要指标。在工程制造领域，平面度误差直接影响产品的装配精度、功能性能及使用寿命，准确分析平面度误差对于确保产品质量至关重要。
平面度误差的来源可能包括产品自身结构收缩性变形和装夹变形等。产品自身结构收缩性变形可能由于产品结构强度不够，在加工完成后由于应力释放导致的变形。而装夹变形则是在装夹过程中产生的内应力，在加工完毕解除压紧后，内应力释放导致的变形。
平面度误差的分析方法多种多样，主要可以分为直接测量法、间接测量法、光学测量法和计算机辅助测量法四大类。直接测量法通过物理接触的方式直接测量被测表面的形状偏差，其中三远点法和对角线法是常用的直接测量评定方法。三远点法利用被测表面上相距Zui远的三个点建立评定基准平面，通过测量各测点相对于该基准平面的偏离值，计算Zui大偏离值与Zui小偏离值之差作为平面度误差值。对角线法则以通过被测表面一条对角线且平行于另一条对角线的平面作为评定基准，同样测量各测点相对于该基准平面的偏离值，并计算Zui大与Zui小偏离值之差。
间接测量法不直接测量被测表面的形状，而是通过测量其他相关参数间接推算平面度误差。间接测量法在平面度误差评定中应用较少，但在某些特定场合下仍具有实用价值。
光学测量法利用光学原理进行非接触式测量，如平晶干涉法，通过光学平晶的工作面体现理想平面，直接以干涉条纹的弯曲程度确定被测表面的平面度误差值。此方法主要用于测量小平面，具有高精度、非接触等优点。