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无尘室风管的制作

风管支架:

1.风管水平安装，边长尺寸小于等于400mm，间距不应大于4m；大于400mm，净化工程，不应大于3m;对于薄钢板法兰的风管，其支、吊架间距不应大于3m。

2.风管垂直安装，间距不应大于4m，单根直管至少应有2个固定点。3

.支、吊架不宜设置在风口、阀门、检查门及自控机构处，离风口或插接管的距离不宜小于200mm。

4.当水平悬吊的主、干风管长度超过20m时，应设置防止摆动固定点，每个系统不应少于1个。

5.防火阀直径或长边尺寸大于等于630mm时，净化工程安装，宜设独立支、吊架。

6.带高1效过滤器的送风口，应采用可分别调节高度的吊杆。

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湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高，粘附的难去掉，但当相对湿度低于30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，大量半导体器件容易发生击穿
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