其中主要应用于半导体集成电路的消费制造。在半导体工业中应用的有110余种单元特种气体，其中常用的有20~30种。在集成电路制造应用方面详细包括集成电路芯片制程、化学气相堆积和气体应用、刻蚀和气体应用、掺杂和气体应用。
在太阳能电池应用方面详细包括太阳能电池的应用、晶体硅太阳能电池消费工艺和气体应用、薄膜太阳能电池消费工艺和气体应用；在化合物半导体应用方面详细包括化合物半导体的应用、MOCVD/LED消费工艺和气体应用。
氮气的应用
氮气用作汽车轮胎填充气体
高纯氮气用作色谱仪等仪器的载气
用作铜管的光亮退火保护气体
跟高纯氦气、高纯二氧化碳一起用作激光切割机的激光i气体
氮气也作为食品保鲜保护气体的用途
用于合成氨、合成纤维（锦纶、腈纶），合成树脂，苏州气体，合成橡胶等
在自动化系统半导体、电子元件等电子行业制造中，氮气用作保护气、稀释气、携带气
在化工行业，氮气主要用作保护气体、置换气体、洗涤气体、安全保障气体
用作铝制品、铝型材加工，铝薄轧制等保护气体
用作回流焊和波峰焊配套的保护气体，提高焊接质量
用作浮法玻璃生产过程中的保护气体，防锡槽氧化
(Kr)
主要用途
有一些使用在填充在白炽灯泡中。机场跑道的照明也是用Kr。Kr灯泡
广泛用于电子、电光源工业，六氟化硫，还用于气体激光器和等离子流中。
因其透射率特别高，氮气，大量用作矿灯、越野车照射灯。
医学上，Kr的同位素用作显踪剂。
液体Kr可用作气泡室，特种气体，探测粒子的轨迹。
放i射性Kr可用于密闭容器的检漏和材料厚度的连续性测定，还可以制成不需电能的原子灯。
用于材料的“Kr化”处理，以作为材料的耐腐蚀、耐磨性能的标记。
Kr用于某些荧光灯和高速摄影用闪光灯中，在白炽灯、灯泡和闸流管中用作惰性保护气体。放i射性Kr–85可用于探测密闭容器的裂缝，逸出的Kr原子可利用它们的放i射性进行检测。稳定的Kr–86发射出的光中有一橙红色谱线，由于该谱线极锐，1960～1983年其波长用作长度米的（1米等于该谱线波长的1.650.763.73倍）。
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