其中主要应用于半导体集成电路的消费制造。在半导体工业中应用的有110余种单元特种气体,特种气体,其中常用的有20~30种。在集成电路制造应用方面详细包括集成电路芯片制程、化学气相堆积和气体应用、刻蚀和气体应用、掺杂和气体应用。
在太阳能电池应用方面详细包括太阳能电池的应用、晶体硅太阳能电池消费工艺和气体应用、薄膜太阳能电池消费工艺和气体应用;在化合物半导体应用方面详细包括化合物半导体的应用、MOCVD/LED消费工艺和气体应用。
特种气体兴起于60年代中期,作为基础化工材料,主要运用于大型石油化工、半导体器件、光导纤维、激光、医学科学、临床诊断、医i药消毒、水果催熟、食品保鲜等领域。随着新产品技术的发展,特种气体检测,其应用范围也越来越广泛。在国民经济高速发展及下游i行业的强劲需求下,我国特种气体行业在2006年后进入快速发展阶段,年均增速达到17%以上。2011年,国内特种气体行业产值规模为296.88亿元,较上年增长22.15%;销售收入为297.52亿元,较上年增长21.64%,详《中国特种气体行业产销需求与投资预测分析报告》。
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