SEM+EDS是一种组合检测设备，结合了扫描式电子显微镜（Scanning ElectronMicroscopy，SEM）和能量散射光谱仪（Energy DispersiveSpectrometer，EDS）。以下是对SEM和EDS的详细介绍：
SEM（扫描电子显微镜）
定义：SEM是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观形貌观察手段，可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。
工作原理：利用聚焦的很窄的高能电子束来扫描样品，通过光束与物质间的相互作用，激发各种物理信息，如二次电子、背散射电子等。这些信息会被探测器捕捉并转换成图像，从而揭示样品的表面形貌和结构信息。
应用：SEM能够用于观察样品的微观形貌，如多孔、纤维状、交错等内部结构，并可用于微小颗粒物尺寸的量测，其测量范围可jingque至几十纳米，甚至达到3纳米（根据不同设备和条件）。
EDS（能谱仪）
定义：EDS是一种用于分析样品中的元素种类和含量的器械。
工作原理：EDS通过检测电子束与样品互动时所产生的X射线，根据能量分布的差异来区分各种元素，并计算各元素的相对含量。具体来说，EDS需在真空室条件下用电子束轰击样品表面，激发物质发射出特征X射线。根据特征X射线的波长，可定性与半定量分析样品表面微区的成分（即元素周期表中B-U的元素）。
应用：EDS能够用于分析样品中的元素组成和化学组成，以及进行元素的定量分析。
当SEM与EDS结合使用时，可以实现对样品表面形貌的微观观察以及元素组成的定量分析。这种组合检测方法在材料科学、化学、生物学等领域具有广泛的应用价值。
