电镀层成分化验 EDS能谱分析

EDS能谱工作原理：

　　EDS能谱仪，又名显微电子探针，是一种分析物质元素的仪器，常与扫描电镜或者透射电镜联用，在真空室下用电子束轰击样品表面，激发物质发射出特征x射线，根据特征x射线的波长，定性与半定量分析元素周期表中Be以上的物质元素，检测流程包括电镜样品制备，上机操作分析，后提供成份分析谱图与半定量成份组成比等数据。

　　EDS能谱主要用途：

　　1、EDS测试与扫描电镜或者透射电镜联用，选定微小位置区域，探测元素成份与含量；

　　2、EDS测试是失效分析当中对于微小痕量金属物质检测的重要的检测手段；

　　3、EDS测试是区分有机物与无机物的简便的手段，对于有机物只要发现检出大量碳和氧元素，基本可以断定含有大量有机物。

　　EDS能谱试验时间：

　　1、如果样品不需要切片制样，直接观察对话，那么电子显微镜制样一般半个小时即可，上机观察之前机器一定要保持真空工作状态，半小时内可以得到图像数据。一般可以随来随看。

　　2、需要用到液氮冷却探头，如果没有加液氮，则需要一个小时时间来等待冷却。

　　EDS能谱测试对样品的要求：

　　样品大小受真空室限制，一般不能大于3厘米x3厘米x3厘米。

　　极限：检测极限，0.01%，只能做半定量分析，精度一般在1%到5%，深度一般为1微米，束斑大小取决于电子束，与放大倍率有关，放大倍率1000~10万倍，对于金属样品可以更高，对于非金属等不导电的样品可能只能做到5万倍。

　　EDS能谱测试要求：

　　对于非金属样品，为了提高放大倍率，需要镀金，样品原貌会有一定改变；

　　对于金属样品，不用镀金就可以进行元素分析；

　　EDS能谱测试特殊样品：

　　对于液态、漂浮粉末、微绒类样品不能做EDS测试；

　　切片固封树脂如果没有完全固化也不能做，以免发生漏气、漏夜、粘污等情况污染真空室。

　　EDS测试服务方式：

　　提供成份分析谱图与半定量成份组成比等数据。

　　SEM&EDS在失效分析领域的应用