isel晶圆机械臂的晶圆搬运机器人 IWH(2-Link Dual Arm and Body Series 3)介绍

更新:2026-01-12 17:21 编号:47503370 发布IP:183.208.44.178 浏览:1次
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苏州西蒙斯科技有限公司
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2
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苏州西蒙斯科技有限公司
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91320505MAD31ATB0C
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isel晶圆机械臂的晶圆搬运机器人 IW
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详细介绍

isel晶圆机械臂的晶圆搬运机器人 IWH(2-Link Dual Arm and Body Series 3)介绍

产品概述

  • 该产品为晶圆搬运机器人,型号为IWH,属于2-Link Dual Arm and Body Series 3系列,具备双臂结构,适用于半导体制造等高精度场景。

核心特性

  • 结构刚性:excellent structural rigidity

  • 晶圆处理能力:支持300mm晶圆搬运

  • 运动精度:maximum reliability and precision

  • 集成兼容性:seamless integration with Prealigner, linear track and other peripheral components

  • 运行性能:very smooth running

  • 驱动系统:backlash free Harmonic Drive® gears

  • 位置反馈:absolute or incremental encoder

  • 真空控制:exact vacuum value can be displayed via controller software;fully integrated software adjustable vacuum sensors

  • 洁净室等级:ISO 1 clean-room environment compatible

  • 可靠性:MTBF(平均无故障时间)>70,000 operating hours

  • 可选配置:2 flip modules iFM-300-3 available with high performance motors

技术规格参数表

参数类别

参数项

数值/描述

Repeatability

T

±0.02°


R

±0.02 mm


Z

±0.02 mm

Working range

Z

7", 10", 13", 15", 17", 21"


radial

10", 14"


theta

500°

Payload

-

up to 1.25 kg (per arm)*

Maximum speed

T

360°/s


R

1,100 mm/s


Z

425 mm/s

Power supply

-

115 - 230 VAC
50 - 60 Hz (±10%)

认证与产地

  • 产地:MADE IN GERMANY

  • 认证:Fraunhofer TESTED DEVICE(Fraunhofer IPA 认证)

  • 晶圆搬运机器人 IWH(2-Link Dual Arm and Body Series 3)技术规格与特性


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成立日期2019年11月22日
法定代表人汤洋
注册资本800
主营产品安川机器人,发那科机器人,埃斯顿机器人,埃夫特机器人等新机销售,同时有技术服务,调试,维修,保养等
经营范围工业机器人,自动化非标设备
公司简介苏州西蒙斯科技有限公司,13862064914是一家集产品销售与配套工业机器人、非标自动化生产线、研发、制造、销售、服务于一体的高新科技企业。公司拥有极具团队精神的销售队伍和具备多年工作经验的工程技术人员,为客户提供完善的解决方案和高效率的技术支持。国内外工业机器人品牌销售有埃斯顿、安川、发那科,图灵等工业机器人。广泛应用于新能源、汽车电子、消费类电子、光伏、半导体智能制造、医疗器械等行业。经过几 ...
公司新闻
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