西蒙斯科技：MEMS微纳加工平台代工服务者

mems微纳加工平台代工服务提供商

西蒙斯科技：MEMS微纳加工平台代工服务者

一、公司概况与核心优势

西蒙斯科技是一家专注于MEMS（微机电系统）微纳加工领域的高新技术企业，致力于为全球科研机构、高校及企业提供从研发设计到规模化生产的全流程代工服务。公司总部位于中国苏州，配备国际领先的微纳加工设备与洁净室设施，覆盖光刻、蚀刻、薄膜沉积、键合等核心工艺，可实现亚微米至纳米级精度制造，服务领域涵盖半导体、光电子、生物医疗、航空航天等高端制造产业。

二、技术实力与加工能力

1. 先进加工平台

• 光刻系统：

• 配备步进式投影光刻机（分辨率≤1μm），支持复杂二维/三维微结构图案化。

• 激光直写系统（线宽≤500nm），适配硅基、玻璃、柔性材料等多种基底。

• 蚀刻技术：

• 深反应离子蚀刻（DRIE）：深宽比≥50:1，满足MEMS器件高精度加工需求。

• 湿法蚀刻：各向异性/各向同性蚀刻，兼容不同晶向材料。

• 薄膜沉积：

• 物理气相沉积（PVD）：金属（Al、Au、Cr）、介质层（SiO₂、Si₃N₄）沉积。

• 化学气相沉积（CVD）：低温氧化硅、氮化硅薄膜制备。

• 键合与封装：

• 阳极键合、共晶键合、胶粘键合，支持异质材料集成。

• 真空封装服务，泄漏率≤1×10⁻⁹ Pa·m³/s，保障器件长期稳定性。

2. 定制化服务能力

• 工艺开发：

• 根据客户需求设计工艺流程，提供DOE（实验设计）优化方案，缩短研发周期。

• 示例：为某高校光子芯片项目开发周期300nm光子晶体结构，成品率达98%。

• 小批量试制：

• 支持1-100片级小批量生产，灵活满足科研验证需求。

• 量产代工：

• 具备百万级年产能，通过ISO 9001质量管理体系认证，确保交付效率与产品质量。

三、应用领域与成功案例

1. 半导体与光电子

• 加工硅光芯片、光栅耦合器、波导器件，助力5G通信与数据中心升级。

• 示例：为某企业定制IGBT功率器件微纳结构，提升器件性能20%。

2. 生物医疗

• 制造微流控芯片、生物传感器、植入式医疗器械，推动精准医疗发展。

• 示例：优化PDMS基微流控芯片模具工艺，实现单片成本降低40%，年产能达10万级。

3. MEMS与传感器

• 加工加速度计、陀螺仪、压力传感器等MEMS器件，以及柔性电子皮肤、可穿戴设备传感器。

• 示例：为某航空航天客户提供高精度压力传感器封装，通过军用级环境测试。

4. 科研支持

• 提供超表面、光子晶体、超材料等前沿研究领域加工服务。

• 配备Class 100-1000超净间，支持客户现场实验操作。

四、服务优势与客户价值

1. 技术领先性

• 核心团队来自中科院、知名高校，拥有十年以上微纳加工经验。

• 持续投入研发，掌握TSV（硅通孔）、3D集成等前沿技术，保持行业技术领先。

2. 质量保障

• 配备SEM、AFM、台阶仪等检测设备，实施全流程质量管控。

• 关键工艺参数SPC监控，确保产品一致性。

3. 快速响应

• 7×24小时技术支持，48小时内提供工艺可行性评估。

• 紧急订单加急服务，交货周期缩短30%。

4. 成本优化

• 共享高端设备资源，降低客户研发与量产成本。

• 提供阶梯定价策略，量越大单价越低，助力客户成本控制。