科研级MEMS微纳加工平台｜小批量试制到量产全流程

苏州硅时代电子科技有限公司

• 《苏州硅时代电子科技有限公司简介》 ：详细介绍了该公司位于国内Zui大的 MEMS 产业集聚区 —— 苏州纳米城，利用近 20 年的 MEMS 领域技术积累，可提供 MEMS 芯片定制设计开发、工艺验证、小批量试制、中试化量产、封装方案设计等系统解决方案，以及单步或多步工艺实验开发，具备光刻、刻蚀、镀膜、封装、测试等微纳加工能力。

• 《苏州硅时代_ 微纳加工|MEMS 加工|MEMS 代工|器件封装|MEMS 一 ...》 ：强调了其在掩膜版制作方面的丰富经验，可提供快速制版，三天交付的专业服务，且拥有 4/6/8 寸 MEMS 芯片设计、代工以及多种单步工艺代工的完整工艺能力，设备状况精良，可多工艺合作开发，并进行全流程收集实验数据和精细的流程管理。

天津大学微纳机电实验室加工开放平台

• 《协作平台 - 天津大学集成光电子器件平台》 ：指出该平台隶属天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室，拥有高端的 MEMS 芯片研发制造能力，面向校内外提供科学研究和代工制造技术服务，可完成从 MEMS 芯片设计、工艺开发、原型验证、小量试产、批量制造的全套流程，拥有百余台套先进的大中型设备，总价值达上亿元，且每台设备都配有相应的技术支撑人员进行操作和维护。

• 《平台概况 - 天津大学微纳机电系统实验室加工开放平台》 ：介绍其以 4 英寸研发中试线为基础，拥有稳定的制造流程、成熟的运营管理、完整的加工平台以及的工艺水平，技术能力覆盖全套 MEMS 工艺，可进行全面开展表面硅、体硅、3D 微纳加工技术以及新工艺、新器件、新系统的研发和量产。

山东产业技术研究院 MEMS 微纳制造公共技术服务平台

• 《山东产业技术研究院 MEMS 微纳制造公共技术服务平台访谈 - 电子 ...》 ：提到该平台是济南市首条具备完整 MEMS 芯片生产加工能力的产线，自 2023 年正式投产以来，积极开展工艺设计、委托开发、联合开发、中试验证、批量量产和成果转化等业务，可助力企业缩短开发验证周期，加速成果转化，为形成山东省 MEMS 传感器产业链提供关键制造能力支撑。

之江实验室微纳加工平台

• 《之江实验室微纳加工平台：以完备工艺和专业服务支撑产业创新》 ：描述了该平台通过构建完备的工艺线和专业化服务团队，在支撑科研实验线器件功能或概念验证的实现原型小试线完整器件试制与小批量生产，从前道工艺到后道工艺，有着全套完整的工艺流程，还建立了一支近 40 人的服务团队，可提供专业化的定制服务。

上海微技术工业研究院

• 《助力科技创新，扩大工艺平台能力开放 - 上海微技术工业研究院 ...》 ：称其拥有的 8 英寸 “超越摩尔” 研发中试线，技术能力覆盖了 MEMS 和硅基光电两大板块，可进行各种 MEMS 和硅基光电芯片的研发、中试和小批量生产。