MEMS传感器/光电子器件定制代工｜专业微纳加工服务

苏州硅时代电子科技有限公司

• 公司简介 ：位于国内Zui大的 MEMS 产业集聚区 —— 苏州纳米城，利用近 20 年的 MEMS 领域技术积累，在 MEMS 传感器、生物 MEMS、光学 MEMS 以及射频 MEMS 方面都拥有大量设计和工艺经验。

• 服务内容 ：可提供 MEMS 芯片定制设计开发、集成电路芯片设计、MEMS 芯片工艺验证、小批量试制、中试化量产、封装方案设计等系统解决方案，也提供 MEMS 设计、加工、测试等单步或多步工艺实验开发。

• 技术优势 ：在掩膜版制作方面经验丰富，可提供快速制版，三天交付的专业服务。拥有丰富的 MEMS 加工资源，可实现 4/6/8 寸 MEMS 芯片设计、代工，以及多种单步工艺代工的完整工艺能力。设备状况精良，可多工艺合作开发，高效评估，高质量实施，全流程收集实验数据，精细的流程管理以及提供优质的服务。

上海奥麦达微电子有限公司

• 公司简介 ：成立于 2021 年，由 3 名在微纳加工行业拥有超过 7 年经验的工艺、项目人员创立。

• 服务内容 ：支持 4/6/8 英寸晶圆的纳米加工，部分设备和工艺支持 12 英寸晶圆工艺。针对 MEMS 传感器、柔性传感器、微流控、微纳光学，激光器，光子集成电路，Micro LED，功率器件等行业，提供定制代工服务。

• 技术优势 ：在微纳加工的镀膜、光刻、蚀刻、双光子打印、键合等工艺拥有丰富经验。

苏州原位芯片科技有限公司

• 公司简介 ：成立于 2015 年，由清华大学和中科院微电子专业人士共同创办的高新技术企业。

• 服务内容 ：提供 MEMS 加工、光刻加工、MEMS 代工、微纳加工等服务。在 MEMS 全流程加工过程中提供先进工艺技术及微纳代工解决方案，可稳定提供中 / 小批量流片、定制硅基掩模版、悬臂梁等高难度工艺流片。

• 技术优势 ：掌握 60+ 项领先的 MEMS 技术，具有工艺开发、流片代工、测试全过程的自主研发和生产能力。

无锡京蓝微纳科技有限公司

• 公司简介 ：坐落于无锡市新吴区微纳园，专注于 MEMS 器件设计与加工。

• 服务内容 ：为高校、科研院所、Fabless 企业提供微纳加工、MEMS 芯片定制、MEMS 工艺开发等服务，以及相关技术咨询服务。具体包括光刻、镀膜、刻蚀、离子注入、减薄、划片、掩模板制作等 MEMS 加工项目；纳米微晶、微透镜、氮化硅窗口、微流道器件、叉指电极、微热板类传感器等 MEMS 芯片定制项目；以及隐形切割、异形切割、激光打孔、临时键合、器件封装等 MEMS 封装项目。

• 技术优势 ：团队成员拥有 10 年 + 的微纳加工、MEMS 器件开发制造经验，掌握多项芯片的设计制造以及封测技术。

上海微技术工业研究院

• 服务内容 ：提供 MEMS 设计实现服务，涵盖从设计规画、仿真、制程整合设计、版图制作、面型 / 体型微加工、封装样品制作至测试解决方案等，快速完成原型、试产和体量生产规模。还提供制造全流程服务，包括定制化工艺服务、品质和可靠性服务、基于设计和工艺的良率提升服务、定制化 IP 开发、模型优化和 PDK 二次开发、封装和测试服务等。

• 技术优势 ：具备世界 RF-SOI 工艺，能够为合作伙伴提供 RF 开关、低噪声放大器、功率放大器等射频器件的设计实现，帮助合作伙伴建立独立设计能力。

广东中科半导体微纳制造技术研究院

• 服务内容 ：规划建设超净实验室约 14000 平方米，以专业化的团队、先进的设备工艺及完善的基础设施搭建科研与产业的桥梁，围绕硅基 MEMS、GaN 基芯片、生物传感等芯片加工需求，面向企业、高校、院所开展化合物材料外延、Si 和 GaN 基芯片制造、封装测试全流程服务，服务覆盖微纳电子、传感器、光电子器件、功率芯片、生物芯片等众多领域。

• 技术优势 ：立足佛山，面向广东，辐射粤港澳大湾区，以开展 8 英寸及以下产品的中试代工为主，可让企业、高校、科研院所轻资产、低门槛地专注核心竞争力的构建。

微纳加工工艺在 MEMS 传感器和光电子器件中的应用

• 工艺流程 ：MEMS 芯片制造采用光刻、干法刻蚀、湿法刻蚀、薄膜沉积、氧化、扩散、注入、溅射、蒸镀、键合等基本工艺步骤来制造复杂三维结构的微加工技术。一般包括三个关键步骤：沉积、图形化转移、蚀刻。整个过程重复进行，直到完成微观结构。

• 技术要点 ：掩膜版上的图案是使用计算机辅助设计工具生成的，光刻胶是一种光敏有机树脂材料，通过旋涂工艺沉积在晶圆上。光刻工艺涉及光刻胶的应用、光学曝光和浸入显影溶液三个连续步骤。