精微纳科技：专业微纳加工代工服务，赋能精密制造创新

微纳加工代工服务公司

精微纳科技：专业微纳加工代工服务，赋能精密制造创新

一、公司简介

精微纳科技有限公司是一家专注于微纳加工领域的高新技术企业，致力于为科研机构、高校及企业提供从设计到量产的全流程代工服务。公司配备国际领先的微纳加工设备，涵盖光刻、蚀刻、薄膜沉积、键合等核心技术，可实现亚微米至纳米级精度制造，服务领域覆盖半导体、光电子、生物医疗、MEMS传感器等战略新兴产业。

二、核心技术与服务能力

1. 微纳加工工艺链

• 光刻技术：

• 配备步进式投影光刻机（分辨率≤1μm）、激光直写系统（线宽≤500nm），支持正负胶工艺。

• 可实现复杂二维/三维微结构图案化，适配硅基、玻璃、柔性材料等多种基底。

• 蚀刻技术：

• 深反应离子蚀刻（DRIE）：深宽比≥50:1，用于MEMS结构加工。

• 湿法蚀刻：各向异性/各向同性蚀刻，满足特定晶向加工需求。

• 薄膜沉积：

• 物理气相沉积（PVD）：金属（Al、Au、Cr）、介质层（SiO₂、Si₃N₄）沉积。

• 化学气相沉积（CVD）：低温氧化硅、氮化硅薄膜制备。

• 键合与封装：

• 阳极键合、共晶键合、胶粘键合，支持异质材料集成。

• 真空封装服务，泄漏率≤1×10⁻⁹ Pa·m³/s。

2. 定制化服务

• 工艺开发：根据客户需求设计工艺流程，提供DOE（实验设计）优化方案。

• 小批量试制：支持1-100片级小批量生产，缩短研发周期。

• 量产代工：具备百万级年产能，通过ISO 9001质量管理体系认证。

三、应用领域

1. 半导体与光电子

• 硅光芯片、光栅耦合器、波导器件加工。

• 功率器件（如IGBT、MOSFET）的微纳结构制备。

2. 生物医疗

• 微流控芯片、生物传感器、植入式医疗器械制造。

• 表面纳米化处理，提升生物相容性。

3. MEMS与传感器

• 加速度计、陀螺仪、压力传感器等MEMS器件封装。

• 柔性电子皮肤、可穿戴设备传感器加工。

4. 科研支持

• 超表面、光子晶体、超材料等前沿研究领域加工服务。

• 提供超净间实验环境（Class 100-1000），支持客户现场操作。

四、服务优势

1. 技术领先性

• 核心团队来自中科院、知名高校，拥有十年以上微纳加工经验。

• 持续投入研发，掌握TSV（硅通孔）、3D集成等前沿技术。

2. 质量保障

• 配备扫描电子显微镜（SEM）、原子力显微镜（AFM）、台阶仪等检测设备。

• 实施全流程质量管控，关键工艺参数SPC（统计过程控制）监控。

3. 快速响应

• 7×24小时技术支持，48小时内提供工艺可行性评估。

• 紧急订单加急服务，交货周期缩短30%。

4. 成本优化

• 共享高端设备资源，降低客户研发与量产成本。

• 提供阶梯定价策略，量越大单价越低。

五、合作案例

1. 某高校光子芯片项目

• 需求：在硅基上加工周期300nm的光子晶体结构。

• 解决方案：采用激光直写光刻+ICP蚀刻工艺，线宽均匀性±5nm，成品率98%。

2. 生物医疗企业微流控芯片

• 需求：PDMS基微流控芯片批量生产。

• 解决方案：优化模具加工工艺，实现10万级年产能，单片成本降低40%。